Skip to Content

Instrukcja korzystania z Biblioteki

Serwisy:

Ukryty Internet | Wyszukiwarki specjalistyczne tekstów i źródeł naukowych | Translatory online | Encyklopedie i słowniki online

Translator:

Kosmos
Astronomia Astrofizyka
Inne

Kultura
Sztuka dawna i współczesna, muzea i kolekcje

Metoda
Metodologia nauk, Matematyka, Filozofia, Miary i wagi, Pomiary

Materia
Substancje, reakcje, energia
Fizyka, chemia i inżynieria materiałowa

Człowiek
Antropologia kulturowa Socjologia Psychologia Zdrowie i medycyna

Wizje
Przewidywania Kosmologia Religie Ideologia Polityka

Ziemia
Geologia, geofizyka, geochemia, środowisko przyrodnicze

Życie
Biologia, biologia molekularna i genetyka

Cyberprzestrzeń
Technologia cyberprzestrzeni, cyberkultura, media i komunikacja

Działalność
Wiadomości | Gospodarka, biznes, zarządzanie, ekonomia

Technologie
Budownictwo, energetyka, transport, wytwarzanie, technologie informacyjne

Robust and efficient inverse mask synthesis with basis function representation

Xiaofei Wu, Shiyuan Liu, Wen Lv, Edmund Y. LamMask optimization is essential in the resolution scaling of optical lithography due to its strong ability to overcome the optical proximity effect. However, it often demands extensive computation in solving the nonlinear optimization problem with a large number of variables. In this paper, we use a ... [J. Opt. Soc. Am. A 31, B1-B9 (2014)]