Skip to Content

Instrukcja korzystania z Biblioteki

Serwisy:

Ukryty Internet | Wyszukiwarki specjalistyczne tekstów i źródeł naukowych | Translatory online | Encyklopedie i słowniki online

Translator:

Kosmos
Astronomia Astrofizyka
Inne

Kultura
Sztuka dawna i współczesna, muzea i kolekcje

Metoda
Metodologia nauk, Matematyka, Filozofia, Miary i wagi, Pomiary

Materia
Substancje, reakcje, energia
Fizyka, chemia i inżynieria materiałowa

Człowiek
Antropologia kulturowa Socjologia Psychologia Zdrowie i medycyna

Wizje
Przewidywania Kosmologia Religie Ideologia Polityka

Ziemia
Geologia, geofizyka, geochemia, środowisko przyrodnicze

Życie
Biologia, biologia molekularna i genetyka

Cyberprzestrzeń
Technologia cyberprzestrzeni, cyberkultura, media i komunikacja

Działalność
Wiadomości | Gospodarka, biznes, zarządzanie, ekonomia

Technologie
Budownictwo, energetyka, transport, wytwarzanie, technologie informacyjne

Boundary integral spectral element method analyses of extreme ultraviolet multilayer defects

Jun Niu, Ma Luo, Yuan Fang, Qing Huo LiuExtreme ultraviolet (EUV) lithography is an emerging technology for high-density semiconductor patterning. Multilayer distortion caused by mask defects is regarded as one of the critical challenges of EUV lithography. To simulate the influence of the defected nanoscale structures with high accuracy ... [J. Opt. Soc. Am. A 31, 2203-2209 (2014)]